近年来,随着华为的国际影响力不断扩大,地位受到威胁的美国,毫不犹豫地开始了对华为的打压,妄想通过手段保持自己霸主地位。
好在后来,多家企业又被允许向华为供货,但可惜的是其中并不包含5G芯片,这也就是说华为的高端品牌Mate和P系列依然是个问题。
光刻机在芯片生产过程中是一种必不可少的机器设备。
目前全球的光刻机几乎都出自于荷兰的 ASML,并且其中的大部分技术都来自于美国。但是这家有美国人大量技术投入的公司被美国勒令禁止出售光刻机给中国,而如今,台积电却只被允许给华为供货中端芯片,麒麟9000的订单依然没有得到解决。
光刻机原理是什么?
在半导体芯片制造设备中,光刻机是投资最大、最为关键的一种,同时还是精度与难度最高、技术最为密集、进步最快的一种系统性工程设备。
光刻是集成电路最重要的一种加工工艺,就像车间中车床的作用,是制造芯片的最关键技术,它的工作原理类似照片冲印技术。
简言之,就是在加工芯片的过程中,通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图并具体生产起来。
过程听起来不难,实则困难重重。要想制造出更强大的芯片,光的波长的大小就很重要,波长越短,可以蚀刻到硅片上的晶体管就越多,而更多的晶体管就相当于一个更强大、更快的微处理器。
光刻机的光源有激光,紫外光、深紫外光、极紫外光,2001年,深紫外光刻(DUV)使用的波长达到了240纳米。
然而随着技术发展,芯片制造商慢慢把波长减少到了100纳米以内,但此时深紫外光蚀刻技术却不适用了,因为当光的波长变小时,光会被用于聚焦的玻璃透镜吸收。
这样的话,光线无法到达硅片上,晶圆上也无法产生电路图案,这个时候最先进技术的极紫外光技术出现了。
极紫外光技术(EUV光刻机)现如今最先进的第五代光刻机采用的是EUV光刻技术,以波长为13.5nm的极紫外光作为光源,是突破 10nm 芯片制程节点必不可少的工具。
也就是说,就算深紫外光(DUV)光刻机从尼康、佳能那里找到替代,但在高端的极紫外光光刻机方面,荷兰的ASML具有100%的全球市占率。
如果没有EUV的话,台积电、三星、英特尔的 5nm 产线就无法投产。前面已经说到了,波长越短,成像效果越好,13纳米的光将会提高投射到硅片上的图案质量,进而提高生产芯片的速度,但整个过程必须在真空中进行。
因为光的波长太短了,连空气都会对它们造成威胁,于是EUV使用了涂有多层钼和硅的凹面和凸面镜,可以在13.4纳米的波长下反射近70%的EUV光,防止光线在到达晶圆片之前被完全吸收。
EUV对镜子的表面的要求很高,甚至是涂层上的微小缺陷也会影响到光学器件的形状,扭曲印刷电路的图形,导致芯片功能上的问题,作为目前最先进的光刻机,EUV光刻机已经制造了数十亿颗7nm芯片了。
那么光刻机再难能难得过原子弹吗?
众所周知,原子弹是非常难制造的,目前世界上真正能够制造出原子弹的国家也就那么几个然而目前全球真正掌握光刻机的国家也很少,但是光刻机是具有国际先进水平的科技设备,而核弹是具有实际作战能力的武器,两者在本质上是没有可比性。
如果站在技术水平上来看,现在最先进的EUV光刻机可能要比造核弹难一点。首先,目前世界公认能够造出原子弹的国家有 9 个,其中还有一些经济发展水平和工业化能力较低的国家,间接的也说明了原子弹的制造对一个国家的制造水平并没有较高要求。
并且原子弹的难处主要在于核装置的设计和核材料的获取上,尤其是后者受到了不扩散和武器条约的严格限制,如果去掉这个限制的话,可能全世界拥核国家会再多。
反观光刻机,目前能造出EUV光刻机的国家只有荷兰,其他国家包括美国在内都造不出来荷兰的那种精度,这点上就能看出来两者的差别。
其次光刻机要求的精度特别高,在这个过程中有 5000 多道工序,而且还得保证芯片的合格率在 99.5%以上,其中越高级的合格率还卡得更严,一个芯片有几十亿,上百亿,上千亿几纳米的晶体管作为线路,一个晶体管刻偏几纳米整个芯片就报废。
讲人话就是在上海这么大的地方盖房子,有一个厕所的水龙头拧歪了,都会导致整个城市不合格。光刻机要求的精细化程度已经到了令人发指的地步了。
不仅如此,除了严格的工艺技术,还需要顶级的光源,目前最先进的技术是极紫外光,能掌握的也就只有美国的 Cymer,因此总体下来的话,光刻机的技术难度就太大了。
最后,每一台高端光刻机的零配件都有数万个左右,对于每一个零件的要求都极高,其中涉及到的国际大厂还太多。
“能否造出来”和“能否成为行业顶尖”这是两个完全不同的概念,我国也有光刻机技术,但是精度方面与荷兰的 ASML 相比都差得太多了。
总之,我国半导体产业链的发展必然是一条艰难的曲折的道路,但我们也要坚信“牛奶会有的,面包也会有的”,在经历了台积电事件之后,我们深知关键核心技术的重要性。
曾经的2g3g我们只配追赶,现在的5g我们引领世界。
虽然现在的我们在光刻机上只能奋力追赶,但是中国人的潜力与韧性永远都是奇迹与成功的代名词!
在此,我们与其坐而“联想”,不如奋起“华为”,毕竟绝处才能逢生!